+<p>談到取代ASML,就必須討論中方的EUV光刻機。2023年博客(參見<a href="180084901.html"><span style="color:blue">《金融史觀(三)政策建議》</span></a>【後註三】)提到二代半導體大基金的貪腐被清理之後,華爲在深圳新成立了幾家子公司,開始為國家管理最尖端的製程研發。去年已經有足夠資訊,可以在留言討論中估計國產EUV光刻機商用交付約在2026年底/2027年初。本周又有消息更新(參見例如<a href="https://www.techpowerup.com/333801/china-develops-domestic-euv-tool-asml-monopoly-in-trouble"><span style="color:blue">《China Develops Domestic EUV Tool, ASML Monopoly in Trouble》</span></a>),除了再一次印證進度預期(2025年第三季試產,2026年量產)之外,還提到華爲選擇了與ASML不同的技術路綫:後者用的是LPP(Laser Produced Plasma)光源,而前者則采用LDP(請注意,這一波新聞全都把LDP説成是Laser-induced Discharge Plasma的縮寫,這應該是原始信息來源所犯的筆誤,學術界所討論的LDP向來都是Laser-assisted Discharge Plasma,參考這個日本團隊的一系列論文<a href="https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/PC13215/PC1321514/LDP-EUV-source-performance-and-cost-of-ownership-improvement/10.1117/12.3036726.short"><span style="color:blue">《LDP EUV source performance and cost-of-ownership improvement》</span></a>)。</p>
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